ГНЦ НИИАР модернизировал площадку для производства важнейшего полупроводникового материала для электронной промышленности

Специалисты ГНЦ НИИАР (входит в научный дивизион Госкорпорации "Росатом" — АО "Наука и инновации") успешно завершили модернизацию участка ядерного легирования кремния на реакторе РБТ-10/2. Реализация проекта позволила вдвое увеличить производительность кремниевого участка и обеспечить возможность легирования слитков диаметром до 200 мм. Высококачественные полупроводники из нейтронно-легированного кремния сегодня широко используются в отечественной электронной и электротехнической промышленности в рамках стратегического инициатив по достижению технологической независимости страны.

"В ходе работ по проекту, начавшихся в 2020 году, были спроектированы, изготовлены и смонтированы новые экспериментальные каналы реактора, облучательные устройства с электроприводами и системой управления, новая печь для отжига слитков кремния, химический бокс с вытяжным шкафом. Модернизирована система электроснабжения и освещения. Приобретено и установлено новое измерительное оборудование", — прокомментировал итоги работ руководитель проекта, начальник реакторного исследовательского комплекса ГНЦ НИИАР Алексей Петелин.

Разработка проекта, изготовление оборудования, монтажные и пуско-наладочные работы выполнены специалистами реакторного исследовательского комплекса, департамента по проектированию и конструированию, опытно-экспериментальной службы и центральной службы ремонта технологического оборудования ГНЦ НИИАР.
Источник информации
Компании
Опубликовано 04.08.2022