"Росэлектроника" разработала первые российские OLED-микродисплеи

Опубликовано 27.01.2022
Источник информации
Холдинг "Росэлектроника" Госкорпорации Ростех разработал первый полностью российский микродисплей на органических электролюминисцентных светодиодах (OLED). Устройство предназначено для индивидуальных средств отображения информации, таких как очки виртуальной, дополненной и смешанной реальности (VR/AR/MR), фото- и видеокамеры, а также наголовные и нашлемные видеомодули, тепловизионные прицелы и тепловизоры.

Микродисплей размером 15,5х12,5 мм выдает изображение с разрешением 1280х1024 пикселей и шагом пикселей в 12 мкм. Производство OLED-микродисплеев требует соблюдения повышенных требований к технологическому процессу. Так, важно соблюдать высокую точность обработки верхнего стека кремниевой сверхбольшой интегральной схемы (СБИС) и нанесения многослойной OLED-структуры, толщина которой не превышает 100 нанометров.

"Россия вошла в пятерку стран в мире, которые владеют технологиями создания OLED-микродисплеев. Нам удалось не только освоить сложнейшую технологию изготовления, но и добиться высокого качества выпускаемых изделий. Наше предприятие готово ежегодно выпускать до 5000 устройств", - сказал генеральный директор Объединенной приборостроительной корпорации Сергей Сахненко.

ОКР и освоение серийного производства выполнены ЦНИИ "Циклон" холдинга "Росэлектроника". ЦНИИ "Циклон" является единственным в России предприятием, обладающим промышленным оборудованием и технологией для изготовления OLED структур и устройств на их основе. Технологии создания кремниевых микросхем управления и изготовления OLED-микродисплеев запатентованы и защищены режимами секрета производства "ноу-хау".

Создание российской кремниевой СБИС проходило в широкой кооперации предприятий Госкорпорации Ростех. Схемотехнические решения разработаны НИИМА "Прогресс", топология – НИИМЭ, а кремниевые 200 мм пластины со СБИС изготовлены компанией ПАО "Микрон", входящей в ГК "Элемент" (совместное предприятие Госкорпорации Ростех и АФК "Система").