Оборудование Лаборатории вакуумных технологий (Beams&Plasmas) – производителя и разработчика импортозамещающей продукции — с 11 по 13 апреля будет представлено на 12-й Международной выставке вакуумной техники, материалов и технологий "ВакуумТехЭкспо"-2017. Компания представит новинки: плазмохимическую установку НИКА-2014 ПХТ, установку магнетронного напыления НИКА-13 ПР-С, цифровые вакуумные датчики ВТРЦ-ДТВ01 и ВТРЦ-ПМТ, ВМЦ, прочее.

НИКА-2013 - полноценная промышленная машина с большой загрузкой, сухой откачкой, быстрой перезагрузкой.
Назначение: напыление резистивных слоев, ионная очистка и травление; нанесение толстых металлических слоёв методом термовакуумного испарения в магнетронном разряде. Для нанесения слоёв сложного состава.
Состав: Камера Ø700х500 мм, до 4 магнетронов, нагреватель, ионный источник. Возможность установки дополнительного оборудования.
Загрузка: 136 подложек 60х48 или 48 круглых подложек Ø100.
3 модификации: резистивные слои РС, проводящие слои ПС (напыление), магнетронное осаждение/травление МО/МТ (плазмохимия).

НИКА-2014 - шлюзовая плазмохимическая установка для процессов травления или осаждения в среде высокоплотной плазмы. Применима при травлении микроструктур в полупроводниковом производстве, MEMS технологии, оптике.
Состав: камера Ø350х300 мм, генератор плазмы РПГ-250, охлаждаемый/нагреваемый стол с гелиевым теплоотводом, магнитная система. Сухая откачка.
2 модификации: плазмохимическое травление (ПХТ)/ плазмохимическое осаждение (ПХО).

Цифровые низковакуумные и высоковакуумные датчики собственного производства (Beams&Plasmas) с улучшенными характеристиками используются для замены вакуумметров типа Мерадат, 13ВТ-003 и ВМБ-8 (ВМБ-14) и ламп ПММ-32-1, ПМТ-6. Вакуумметры Beams&Plasmas устраняют наводки на аналоговые цепи, отличаются высокой точностью измерений.