"Швабе" усовершенствовал процесс изготовления меза-элементов

Швабе Ученые предприятия Холдинга "Швабе", входящего в Госкорпорацию Ростех, модернизировали процесс изготовления меза-элементов матрицы фотоприемных устройств (МФПУ).

Специалисты предприятия Холдинга "Швабе" – ГНЦ РФ АО "НПО "Орион" разработали технологию для изготовления элементов матрицы в новом качестве. В составе авторов проекта – начальник участка Михаил Седнев, начальник научно-технического комплекса Константин Болтарь, а также ведущий инженер Юрий Шаронов и начальник участка Алексей Лопухин.

В своем исследовании специалисты проанализировали процессы формирования меза-элементов матрицы методом жидкостного травления и травления ионами интерного газа. Процесс представляет собой превращение плоской слоистой полупроводниковой пластины в массив меза-элементов матрицы, разделенных узкими областями (канавками) на необходимую глубину.

"Перед нами стояла задача – усовершенствовать процесс изготовления меза-элементов, из которых состоят матрицы фотоприемного устройства – это одно из важных направлений микрофотоэлектроники. В настоящее время разработка внедрена в производство современных матриц фоточувствительных элементов с шагом 30 мкм и матриц мегапиксельного формата, что соответствует последним тенденциям развития отрасли", – прокомментировал специалист ГНЦ РФ АО "НПО "Орион".

Сотрудники "Швабе" исследовали структуры с плоской поверхностью и с островками напыленной метализации. Анализ неровностей и шероховатостей осуществлялся на специальных приборах – конфокальном и контактном профилометрах. В результате ученые установили, что именно сочетание ионного и жидкостного травления позволяет получать приемлемые результаты при создании мезаструктур МФПУ.

Швабе

Сегодня новая технология используется при выполнении опытно-конструкторских работ предприятия в области изготовления матриц фотоприемных устройств (МФПУ) ультрафиолетового и ближнего инфракрасного диапазонов спектра, в том числе матриц мегапиксельного формата.

Результаты научного эксперимента ученые опубликовали в статье "Ионно-лучевое травление для формирования мезаструктур МФПУ" в журнале "Прикладная физика".

Государственный научный центр РФ АО "НПО "Орион" – это ведущая организация России в области развития фотоэлектроники. Разработанные на его базе устройства и компоненты широко применяются в ядерной энергетике, космической отрасли, нефтегазовом секторе, медицине и других областях. Деятельность предприятия относится к приоритетным направлениям развития науки, технологий и техники в Российской Федерации.
Источник информации
Пресс-служба холдинга "Швабе"
Компании
Опубликовано 15.01.2016